放電加工機
鏡面仕上げについて、表面粗さはRa 0.03μmまで達成可能です。最大で64本のATC（自動工具交換装置）を使用可能です。
MITSUBISHI
AGIE CHARMILLES
MAKINO
レーザー
GF LASER P400 U
最大ストローク 600x400x250mm
最小スポットサイズ：20μm
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超精密加工機
MOORE NANOTECH 250UPL
幾何学的精度0.5μm以下
表面粗さRa 0.5nm以下
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接触式測定装置
パナソニック UA3P 400T 超高精度三次元測定機
最大測定精度 ±0.15μm以下
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接觸式量測設備
Zeiss G2/Prismo 三次元測定機 * 9 sets
最大測定精度 0.5μm
Zeiss OI三次元画像自動測定システム
最大測定精度1.9μm。
均賀は台湾で一番高密度の三次元測定機を保有しています。
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