放電加工機
鏡面加工，表面粗糙度可達到Ra 0.03μm；最高可搭配64刀自動換刀系統。
MITSUBISHI
AGIE CHARMILLES
MAKINO
雷射
GF LASER P400 U
最大行程 600x400x250mm
最小光斑大小: 20 μm
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超精密加工機
MOORE NANOTECH 250UPL
最佳幾何精度 0.5μm內
最佳表面粗糙度Ra 0.5nm內
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接觸式量測設備
Panasonic UA3P 400T 超精密3D輪廓儀
最佳量測精度 ±0.15μm內
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接觸式量測設備
Zeiss G2/Prismo 三次元量測儀 * 9 sets
最佳量測精度0.5μm
Zeiss OI 3D 影像自動量測系統
最佳量測精度1.9μm
均賀擁有全台灣密度最高的CMM量測設備
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